그것은 보고 Aixtron, 반도체 산업에 대 한 증 착 장비의 세계의 주요한 공급자 Plessey의 AIX G5 + C 행성 원자로 플랫폼을 지시 했다 고 말했다. Plessey 금속 유기 화학 기상 증 착 (MOCVD) 시스템을 사용 하 여 다음-세대 MicroLED 응용 프로그램에 대 한 실리콘에 간 (GaN에 Si) 코피 웨이퍼의 용량을 늘릴 계획 이다.
AIX G5 + C MOCVD 시스템 8 * 6"또는 5 * 8" 에 대 한 두 개의 독립적인 챔버 구성 옵션 자동 카세트 (C2C) 웨이퍼 전송 모듈을 제공 하는 닫힌된 자동 로딩에 GaN에 Si 웨이퍼와 카세트 환경에서 제거.
Ai Siqiang 웨이퍼 결함 율 감소 및 가동 중지 시간을 줄일 수 있도록 새로운 원자로 플랫폼의 자동된 청소 기술 장비 실행 될 때마다 청소는 보장 했다. 새로운 장비는 또한 빠른 끝 및 냉각 및 제조 법 시간을 줄이기 위해 높은 susceptor 언로드 온도 갖추고 있습니다.
AIX G5 + C 원자로 플랫폼 회사의 독점 GaN에 Si 기술을 사용 하 여 단일 칩 MicroLED R&D 기능 증가 Plessey의 계획을 지원 합니다.
Plessey 말한다 그것의 MicroLEDs 매우 높은 밝기 및 픽셀 밀도 있고 아주 작은 전력을 소비. 이러한 성능 특성 전통적인 디스플레이 기술, Lcd, Oled 등의 기존 응용 프로그램의 수를 영향을 미칠 가능성이 있다. 이 MicroLED 디스플레이 매우 높은 밀도 RGB 픽셀 배열을 매우 높은 밝기를 제공 하는 CMOS 백플레인, 저전력 및 착용 할 수 있는 전자 장치 및 머리에 대 한 높은 프레임 속도 이미지 소스 디스플레이 탑재로 증강 현실 및 가상 현실 시스템입니다.
